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DIN 28400-4-1976 真空技术.术语和定义.真空涂层技术

作者:标准资料网 时间:2024-05-18 00:40:10  浏览:9406   来源:标准资料网
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【英文标准名称】:Vacuumtechnology-Termsanddefinitions,vacuumcoating
【原文标准名称】:真空技术.术语和定义.真空涂层技术
【标准号】:DIN28400-4-1976
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1976-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:不对称的;真空工艺学;热阴极;真空镀;真空工程;阴极;离子束;蒸发器;加热设备;材料;衬底(绝缘);定义;覆层
【英文主题词】:vacuumdeposition;coatings;definitions;vacuumengineering;ionbeams;evaporators;cathodes;hotcathodes;asymmetrical;materials;substrates(insulating);heatingequipment
【摘要】:
【中国标准分类号】:J78
【国际标准分类号】:23_160;01_040_23
【页数】:6P;A4
【正文语种】:德语


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【英文标准名称】:Industrialprocesscontrolvalves;GermanversionEN1349:2009
【原文标准名称】:工业过程控制阀.德文版本EN1349-2009
【标准号】:EN1349-2009
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2010-01
【实施或试行日期】:2010-01-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分类;组件;控制阀和配件;校正装置;定义;设计;尺寸;流量控制;流量调节阀;工业的;泄漏量;处理;总长;过程控制;规范(验收);试验;试验要求;阀门
【英文主题词】:Classification;Components;Controlvalvesandfittings;Correctingunits;Definitions;Design;Dimensions;Flowcontrol;Flowregulators;Industrial;Leakage;Marking;Overalllengths;Processcontrol;Specification(approval);Testing;Testingrequirements;Valves
【摘要】:
【中国标准分类号】:J16
【国际标准分类号】:23_060_40
【页数】:24P.;A4
【正文语种】:英语


基本信息
标准名称:电子工业用气体 砷化氢
英文名称:Gases for electronic industry—Arsine
中标分类: 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体
ICS分类: 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
首发日期:2011-01-14
作废日期:
主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
起草单位:西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
起草人:孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩
出版社:中国标准出版社
出版日期:2011-05-01
页数:12页
适用范围

本标准规定了砷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中,砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。

前言

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所属分类: 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体