GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
作者:标准资料网 时间:2024-04-29 22:23:46 浏览:9259
来源:标准资料网
下载地址: 点击此处下载
基本信息
标准名称: | 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 |
英文名称: | Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques |
中标分类: | 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合 |
ICS分类: | 电气工程 >> 半导体材料 |
替代情况: | 替代GB/T 13388-1992 |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: | 2009-10-30 |
实施日期: | 2010-06-01 |
首发日期: | 1992-02-19 |
作废日期: | |
主管部门: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
归口单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
起草单位: | 有研半导体材料股份有限公司 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 2010-06-01 |
页数: | 12页 |
计划单号: | 20065628-T-469 |
适用范围
没有内容
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
下载地址: 点击此处下载